| 真空室尺寸 |
Ф1600×H1800mm |
| 制膜種類 |
金色氮化鈦、黑色碳化鈦、七彩氧化鈦、耐磨膜、超硬膜、金剛石膜、金屬裝飾膜等 |
| 電源類型 |
直流電源、中頻電源、電弧電源、燈絲電源、活化電源、脈沖偏壓電源 |
| 靶類型 |
多弧靶，選配中頻孿生柱靶或平面靶 |
| 真空室結(jié)構(gòu) |
立式前開門結(jié)構(gòu)（雙層水套式或水槽式冷卻）、后置抽氣系統(tǒng) |
| 真空系統(tǒng) |
機(jī)械泵＋羅茨泵＋擴(kuò)散泵/分子泵＋維持泵 |
| 加熱系統(tǒng) |
常溫至350度可調(diào)可控（PID控溫），不繡鋼加熱管加熱 |
| 充氣系統(tǒng) |
質(zhì)量流量控制儀（1-4路） |
| 極限真空 |
6×10-4pa（空載、凈室） |
| 抽氣時間 |
空載大氣抽至5×10-3pa小于13分鐘 |
| 保壓率 |
1h≤0.6pa |
| 工件旋轉(zhuǎn)方式 |
上旋轉(zhuǎn)或下旋轉(zhuǎn)＋公自轉(zhuǎn)變頻無級可控可調(diào)，0-20轉(zhuǎn)/分 |
| 控制方式 |
手動＋半自動/觸摸屏＋PLC |
| 備注 |
真空室尺寸可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做 |
